MICRONANOFABS es una ICTS distribuida dedicada a la Micro-Nano Fabricación y a la Fotónica. Es una gran infraestructura de experimentación para la ingeniería y para el desarrollo de nuevas tecnologías de aplicación en diversos campos ofreciendo tecnologías avanzadas que prestan un apoyo horizontal y fundamental en todas las disciplinas de la ciencia y la tecnología.

La misión de la Red MICRONANOFABS es apoyar a los grupos de investigación españoles y europeos y a las industrias en sus investigaciones en estos tres campos. Además, también tiene la misión de coordinar las estrategias nacionales de I+D+I en su campo de actuación y convertirse en una voz clave para las diferentes autoridades públicas internacionales, nacionales y regionales sobre temas relacionados con la implementación de estrategias nacionales en los campos de la Micro / Nano Fabricación y Fotónica.

La visión de la Red MICRONANOFABS en este escenario, y teniendo en cuenta las especificidades de la comunidad científica y la industria españolas de electrónica y fotónica , es cubrir toda la cadena de valor desde la investigación básica hasta impulsar proyectos industriales de I+D+I en las KET´s gracias a la oferta de disponibilidad de las instalaciones de alta tecnología y el conocimiento adquirido por los investigadores y tecnólogos de las tres instituciones que forman parte de la red MICRONANOFABS.

Por su carácter horizontal, los beneficios de la oferta de la Red MICRONANOFABS no son sólo para el sector TIC o de los materiales, sino que abarcan todos los sectores industriales y retos sociales en los que los materiales, componentes electrónicos y fotónicos miniaturizados pueden tener un papel crucial tales como Salud, Transporte, Energía, Medio Ambiente, Alimentación, Seguridad, etc.

Esta ICTS distribuida pone a disposición de la comunidad científica y la industria más de 2.000 m² de zona de Sala Blanca (clase 10-100-1.000), junto con laboratorios asociados para el encapsulado y caracterización de sistemas y dispositivos. En los últimos años, gracias a la financiación FEDER, los equipos se están actualizando para procesar obleas de 150 mm y 200 mm de diámetro (6” y 8” respectivamente) y afrontar nuevos retos.

Las instalaciones de MICRONANOFABS se distribuyen en los siguientes nodos:

Cada nodo de Micronanofabs tiene características especiales y líneas de investigación complementarias en el campo de la micro y nanotecnología, la optoelectrónica, la fotónica y la caracterización de dispositivos y materiales. Con este propósito, los nodos se coordinan para tener una oferta tecnológica global operando de manera distribuida. La contratación de los servicios distribuidos proporciona un acceso global a las instalaciones en un acceso combinado a tecnologías y equipos dedos o tres nodos o bien de un solo nodo.

Micronanofabs pertenece a la red europea de nanofabricación Euronanolab, que consta de más de 40 centros académicos de nanofabricación de vanguardia en toda Europa y su principal objetivo es acelerar la investigación en el sector de la micro y nanotecnología permitiendo la transformación de un panorama fragmentado de instalaciones de nanofabricación en una base de conocimientos integrada que apoye la excelencia científica y proporcione a los investigadores una vía rápida para obtener resultados.

El Centro de Tecnología Nanofotónica de Valencia (NTC) es un Instituto Universitario de Investigación de la Universidad Politécnica de Valencia (UPV) con una clara vocación por la transferencia de tecnología a la industria y el desarrollo de la nanotecnología y la nanociencia. Tiene un carácter multidisciplinar: por un lado, ofrece su capacidad de fabricación en materiales y dispositivos fotónicos (ej.:circuitos integrados fotónicos en silicio o en nitruro de silicio y otros tipos de sustratos), y por otro, ofrece la posibilidad de realizar procesos de micro/nanofabricación a industrias de otros sectores económicos donde las nanotecnologías permiten múltiples aplicaciones.

Actualmente las instalaciones de Micronanofabs constan de más de 230 equipos repartidos en cuatro categorías:

El número de equipos ha ido en aumento gracias a los avances tecnológicos y al desarrollo en el sector de la microelectrónica. Con esta mejora en las instalaciones y equipos se busca mejorar las capacidades de Micronanofabs para contribuir en el desarrollo del sector de la micro y nanofabricación y la fotónica.

EQUIPOS DESTACADOS DE MICRONANOFABS

Cuando se realiza la petición de un servicio, se tiene acceso a las instalaciones proporcionadas por cada uno de los tres nodos en su conjunto (acceso a latecnología o instalaciones combinadas de dos o más nodos de acceso) o a una única unidad (acceso a la tecnología y/o instalaciones de un único nodo). Estos servicios pueden ser solicitados por investigadores del sector público o privado, de carácter nacional o internacional.

Para cursar una petición, se deben seguir los siguientes pasos:

Las obleas que se pueden procesar en las instalaciones varían su diámetro enfunción de la finalidad que se les quiera dar y el área en las que se usen. Teniendo esto en cuenta, se trabaja con los siguientes tamaños: 100 mm (4″), 150 mm (6″), 200 mm (8″). Además, también se puede trabajar directamente con muestras de chips.

Los servicios disponibles se agrupan en las cuatro áreas de trabajo disponibles de Micronanofabs. La lista completa es la siguiente:

Los dispositivos creados en Micronanofabs son posibles gracias a las investigaciones que se llevan a cabo en los tres nodos que lo conforman y a la colaboración interna. Detrás de cada dispositivo hay personal técnico e investigar que se agrupa en líneas de investigación para mejorar sus capacidades y asegurar su correcto funcionamiento.

Gracias a estas investigaciones es posible ofrecer dispositivos novedosos tanto aempresas como a proyectos de investigación.

Las líneas de investigación, que agrupan todos los dispositivos fabricados, son las siguientes: